通过对公司实施5S现场管理的具体情况进行研究后，结合生产特点以及组织结构公司可以将5S内部审查进一步细化，更加具体。将5S的实施落实到工作中的每个环节。制定5S检查表及5S评估表。通过内审可以评价5S活动和有关结果是否符合公司的期望和要求，同时寻求继续改善的可能性空间而进行内部系统性检查。
(1)确定内审的范围
将生产车间及行政办公室分别设为审核的范围。并具体结合现场特点具体规定审核项目。
(2)规定内审的时机和频度
每个部门最少每半年一次，而且每个月有一到两次集中各部门的巡查式的审核。发生了严重的问题或生产场所有较大整修改变时可以进行临时性的项目审核。
(3)内审的方法及工具
1)分别根据现场特点设制生产车间和办公区5S检查表。每个S设制4项检查项目，评分从1到6，代表不同的完成况：1分代表实施5S前的初始状态，2分表示初次改进，3—4分表示持续改进，5分代表完善体系而6分代表完成卓越。根据每个项目提出的问题打分后加总便得到了其中1个S的分数。将5个S都打分全部加总得到总分，同时也可得知完成最终目标的百分比，从而评估完成5S的实际情况。
2)为保证检查的公正性制定检查所需参考的评审表，明确列出每个分值所代表的各个水平的完成情况。评分表分别按照5个S制作，每个S中又分别按4个检查项目分别列示每个分值应该达到的实施情况。任何入如果做5S内部审查都应该参照统一的评分标准，这样才能保证其公正性。接受5S内审的部门员工也可参照该表来看出本部门5S的完成情况，有利于及时发现问题及时改正。
